특허 |
반도체 공정 배출 가스중 유해 성분에 대한 약제식 처리장치 |
10-2000-0048368 |
2000.08.21 |
코아텍㈜ |
특허 |
오존분해용 산화망간계 촉매체 및 그 제조방법 |
10-2003-0030145 |
2003.05.13 |
코아텍㈜ |
특허 |
오존과 유해가스 분해촉매물질을 이용한 공기정화장치 |
10-2004-0018665 |
2004.03.19 |
코아텍㈜ |
특허 |
촉매와 반응열을 이용한 삼염화실란의 제조방법 및 장치 |
10-2009-0010833 |
2009.02.11 |
코아텍㈜ |
특허 |
고순도 염화수소 제조방법 및 장치 |
10-2009-0039149 |
2009.05.06 |
코아텍㈜ |
중국특허 |
고순도 암모니아 제조방법 및 장치 (중국특허) |
201010167555.7 |
2010.04.04 |
코아텍㈜ |
특허 |
저순도 암모니아 원료로부터 고순도 일산화질소와 아산화질소의 제조방법 및 장치 |
10-2010-0028578 |
2010.03.30 |
코아텍㈜ |
특허 |
흡착과 산화를 이용한 연속적 유기화홥물 제거처리방법 및 시스템 |
10-2012-0081868 |
2012.07.26 |
코아텍㈜ |
특허 |
피에프씨와 산 배기가스 제거용 흡착반응제 |
10-2012-0082643 |
2012.07.27 |
코아텍㈜ |
특허 |
공업용 암모니아 정제장치 |
10-2013-0087346 |
2013.07.24 |
코아텍㈜ |
특허 |
피에프씨와 산 배기가스 제거용 흡착제 |
10-2013-0165025 |
2013.12.27 |
코아텍㈜ |
특허 |
산 배기가스 제거를 위한 반응흡착제 및 반응흡착제 제조방법 |
10-2016-0167227 |
2016.12.09 |
코아텍㈜ |
특허 |
악취 및 VOCS 제거를 위한 난연성 흡착재 및 그 제조방법 |
10-2016-0175259 |
2016.12.21 |
코아텍㈜ |
실용신안 |
산 배기가스 제거를 위한 반응흡착제가 충진된 캐니스터 |
20-2017-0000246 |
2017.01.13 |
코아텍㈜ |